不过，相关设备目前在性能、可靠性和量产稳定性方面仍需验证，距离大规模替代ASML还有一段路。国产EUV设备则仍处于原型机阶段。(Reuters)

这条消息真正重要的地方，在于国产浸没式DUV可能开始从实验室和样机阶段，进入晶圆厂实际产线。