光刻机巨头,研发下一代芯片设备!
集微网·爱集微APP,各大主流应用商店均可下载据报道,荷兰半导体设备制造商ASML的技术执行副总裁Jos Benschop表示,该公司已开始致力于开发下一代尖端光刻机,以服务于未来十年的芯片行业。其最新型的“High NA”光刻机,其孔径为0.55。最终,光学和光源方面的突破以及真空技术和生产效率的进步,使得该公司的EUV光刻机于2019年实现量产,从而助力台积电、三星等公司实现尖端芯片制造。
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