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电子特气是指在半导体、显示面板、光伏等电子制造业中，用于关键工艺环节的高纯度、高稳定性、高安全性的气体，被誉为半导体产业的“血液”和“命脉”。

在半导体制造中，电子特气广泛应用于化学气相沉积（CVD/ALD）、离子注入、干法刻蚀、腔室清洁、退火/扩散、外延生长等关键工艺环节。

电子特气产业链各环节拆解

上游：原材料与设备

原材料：空气、工业废气、液氧/液氮、氟/钨等基础化工原料，以及氦/氖/氪/氙等稀有气体。

核心设备：空分设备、纯化设备、压缩/储运设备、检测仪器。

中游：合成、纯化与充装

核心环节：原料合成→高精度提纯→混配→充装；纯度决定制程适配性，先进制程需ppt级纯度。

下游：应用与配套

集成电路：晶圆制造（刻蚀/沉积/掺杂/清洗）、先进封装，需求随3D NAND/GAA等技术升级提升。

显示面板：LCD/OLED的沉积与刻蚀，受益于Mini LED渗透。

光伏：PECVD沉积，N型电池带动特气用量增加。

其他：LED、光纤、光伏等，需求稳步增长。

配套服务：现场制气、气体输送系统、检测与运维，头部厂商提供一体化方案。

电子特气产业链企业盈利能力

企业盈利能力通常表现为一定时期内企业收益数额的多少及其水平的高低。盈利能力的分析，就是对公司利润率的深层次分析。

本文为企业价值系列之【盈利能力】篇，共选取16家电子特气产业链企业作为研究样本，并以净资产收益率、毛利率、净利率等为评价指标。

数据基于历史，不代表未来趋势；仅供静态分析，不构成投资建议。

第10 三孚股份

产业细分：其他化学原料

盈利能力：净资产收益率2.65%，毛利率14.11%，净利率3.45%

业绩预测：ROE最近三年连续下降至2.65%，最新预测均值3.39%

主营产品：钾系列产品为最主要收入来源，收入占比46.51%，毛利率20.89%

公司亮点：三孚股份电子特气产品为电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅、电子级四氯化硅。

第9 和远气体

产业细分：其他化学制品

盈利能力：净资产收益率5.54%，毛利率19.49%，净利率4.82%

业绩预测：ROE最近三年波动在5%-7%，最新预测均值6.19%

主营产品：大宗气体为最主要收入来源，收入占比46.09%，毛利率41.41%

公司亮点：和远气体全资子公司潜江特气拟新增电子特气及电子化学品项目。项目主要产品为电子特气、电子级化学品。

第8 广钢气体

产业细分：电子化学品

盈利能力：净资产收益率4.28%，毛利率26.92%，净利率11.87%

业绩预测：ROE最近三年连续下降至4.28%，最新预测均值4.92%

主营产品：电子大宗气体为最主要收入来源，收入占比70.72%，毛利率29.17%

公司亮点：广钢气体产品涵盖电子大宗气体的全部六大品种以及主要的通用工业气体品种。

第7 中船特气

产业细分：电子化学品

盈利能力：净资产收益率5.56%，毛利率29.74%，净利率15.76%

业绩预测：ROE最近三年连续下降至5.56%，最新预测均值5.88%

主营产品：集成电路为最主要收入来源，收入占比61.07%，毛利率31.00%

公司亮点：中船特气已经具备电子特种气体及含氟新材料等50余种产品的生产能力。

第6 金宏气体

产业细分：电子化学品

盈利能力：净资产收益率6.42%，毛利率32.15%，净利率8.31%

业绩预测：ROE最近三年波动在6%-11%，最新预测均值6.82%

主营产品：大宗气体为最主要收入来源，收入占比38.53%，毛利率31.26%

公司亮点：金宏气体产品线覆盖超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、干冰、硅烷、其他超高纯气体、混合气等特种气体。

第5 昊华科技

产业细分：氟化工

盈利能力：净资产收益率8.66%，毛利率21.73%，净利率7.91%

业绩预测：ROE最近三年连续下降至8.66%，最新预测均值8.22%

主营产品：高端氟材料为最主要收入来源，收入占比54.39%，毛利率13.41%

公司亮点：昊华科技旗下昊华气体拥有国家重要的特种气体研究生产基地，现有电子特种气体、电力绝缘气体等数十余种产品。

第4 华特气体

产业细分：电子化学品

盈利能力：净资产收益率9.76%，毛利率31.90%，净利率13.17%

业绩预测：ROE最近三年连续下降至9.76%，最新预测均值9.43%

主营产品：光刻及其他混合气体为最主要收入来源，收入占比19.79%，毛利率38.83%

公司亮点：华特气体半导体气体高纯三氟化氮、高纯一氟甲烷、高纯二氟甲烷、锗烷等新产品都进入芯片厂试用，取得阶段性成果。

第3 南大光电

产业细分：电子化学品

盈利能力：净资产收益率13.42%，毛利率41.16%，净利率15.81%

业绩预测：ROE最近三年连续上升至13.42%，最新预测均值10.09%

主营产品：特气产品为最主要收入来源，收入占比64.05%，毛利率39.95%

公司亮点：南大光电旗下控股子公司飞源气体主要产品包括三氟化氮、六氟化硫、六氟化钨、四氟化碳、五氟化碘、六氟丁二烯、八氟环丁烷等。

第2 侨源股份

产业细分：其他化学制品

盈利能力：净资产收益率8.63%，毛利率33.13%，净利率14.57%

业绩预测：ROE最近三年波动在8%-13%，最新预测均值12.76%

主营产品：氧气为最主要收入来源，收入占比41.95%，毛利率39.77%

公司亮点：侨源股份是一家专注于高纯度气体研发、生产、销售和服务的综合气体供应商。

第1 雅克科技

产业细分：半导体材料

盈利能力：净资产收益率8.76%，毛利率31.59%，净利率12.27%

业绩预测：ROE最近三年波动在8%-10%，最新预测均值14.01%

主营产品：半导体化学材料为最主要收入来源，收入占比28.48%，毛利率41.14%

公司亮点：雅克科技通过子公司成都科美特深耕电子特气，是其半导体材料平台的重要板块。